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Estudio de la influencia de la variación del flujo de acetileno y del voltaje de polarización del sustrato sobre el estrés interno de películas Ti-DLC 497

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Estudio de la influencia de la variación del flujo de acetileno y del voltaje de polarización del sustrato sobre el estrés interno de películas Ti-DLC 9 1 26 12 19 51 13

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