Propiedades ópticas y eléctricas del Nitruro de Titanio y su aplicación en la fabricación de diodos Schottky

Abstract

Esta tesis presenta información, datos experimentales, resultados y conclusiones sobre las propiedades ópticas, eléctricas y estructurales del Nitruro de Titanio (TiN) y su aplicación en la fabricación de diodos Schottky. Primero, se indican los objetivos de este trabajo para tener una idea clara del marco de desarrollo de esta tesis. A continuación, en el primer capítulo, se muestra un panorama general de las propiedades del Nitruro de Titanio como su diagrama de fases, estructura cristalina y propiedades físicas, además se presenta también una descripción teórica de un diodo Schottky. En el capítulo dos, se describe en detalle el proceso de fabricación de dos tipos muestra: TiN depositado sobre vidrio (para obtener las propiedades ópticas y eléctricas) y sobre Silicio (para obtener el diodo Schottky). También se mencionan y describen las técnicas de caracterización usadas y una breve reseña sobre el modelo Drude Lorentz utilizado para calcular parámetros ópticos como el índice de refracción, coeficiente de extinción y coeficiente de absorción. En el capítulo tres, se muestran los resultados de la caracterización: y los valores encontrados para los parámetros ópticos y valores para modelar la curva I-V de los diodos Schottky. Finalmente, en el capítulo cuatro, se enumeran las más importantes conclusiones de esta tesis así como algunas recomendaciones para posteriores trabajos.