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http://hdl.handle.net/20.500.14076/4059| Title: | Elaboración de filtros ópticos de película delgada de óxido de titanio, producidos por técnica RF Magnetron Sputtering |
| Authors: | Tafur Anzualdo, Gelacio Albino |
| Advisors: | Talledo Coronado, Arturo Fernando |
| Keywords: | Ciencias;Óptica física;Óxido de Titanio;Películas delgadas;Tecnología del vacío |
| Issue Date: | 2009 |
| Publisher: | Universidad Nacional de Ingeniería |
| Abstract: | El presente informe tiene como objetivo la elaboración de filtros ópticos de película delgada de óxido de titanio, producidos por la técnica RF Magnetrón Sputtering, sobre substratos de vidrio, y su caracterización óptica y estructural de las películas fabricadas. Los filtros Fabry Perot producidos están constituidos por películas delgadas de plata y óxido de titanio que tienen espesores entre 80 y 250 nm medidos a partir de los máximos y mínimos de interferencia en los espectros ópticos. Las películas delgadas de óxido de titanio, aluminio y los filtros ópticos producidas han sido analizadas mediante UV Visible Spectrophotometer, Shimadzu para obtener los gráficos de la transmitancia, así mismo estimar el índice de refracción y el espesor de las películas producidas. Mediante la técnica de difracción de electrones se ha logrado comprobar (verificar) la estructura cristalina tetragonal del óxido de titanio. |
| URI: | http://hdl.handle.net/20.500.14076/4059 |
| Rights: | info:eu-repo/semantics/restrictedAccess |
| Appears in Collections: | Física |
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